干膜濕膜厚度在線測量
日期:2020-06-04
來源:三姆森科技
特別在半導體行業,涂層厚度關系到公差的控制,以及材料成本數量的控制,特別一些稀有金屬如金、鉑等,使用光譜共焦傳感器,在線測量監控,實時管控,不管是濕膜生產過程,還是干膜成品質量管控。
濕膜厚度和干膜厚度的關系:濕膜厚度=(所需的干膜厚度/涂料固體成分的體積百分比)*(100%+添加的稀釋劑百分比)
注:涂料的固體成分百分比可根據所用涂料的參數確定。
光譜共焦超高采樣頻率,10000點/s,可以很好的配合在線生產測量使用