玻璃基板厚度測量
日期：2020-06-04
來源：三姆森科技
屏幕厚度，玻璃基底上的凹坑測量
智能手機或平板電腦上那層鍍過膜的、超高硬度的屏幕玻璃是通過非常精密的工藝生產出。其切割邊緣需要被完全檢驗來判斷玻璃是否能進入到下面的拼裝工序中。ert的色散共焦測量傳感器能夠使用不同的測頭在線測量屏幕玻璃的尺寸和厚度。色散共焦傳感器通過一次掃描能同時測量玻璃的翹曲度和厚度。色散共焦傳感器也能測量玻璃表面那些由打磨或激光消融產生的凹坑或缺口的深度。這些凹坑會導致玻璃在往后的使用中由于受力開裂。
玻璃基板是構成液晶顯示器件的一個基本部件。這是一種表面極其平整的浮法生產薄玻璃片。目前在商業上應用的玻璃基板，其主要厚度為0.7 mm及0.5m m，且即將邁入更薄（如0.4mm）厚度之制程。基本上，一片TFT- LCD面板需使用到二片玻璃基板，分別供作底層玻璃基板及彩色濾光片（COLOR FILTER）之底板使用。
能夠提供大尺寸上影液晶屏幕玻璃基板的廠商只有美國康寧、日本旭硝子等四家，其中美國康寧占據51%的市場，日本旭硝子占據28%的份額，而能夠為5代以上生產線提供配套的也只有這兩家，雖然玻璃基板只占據TFT-LCD產品成本的6%-7%，但技術上的寡頭壟斷讓玻璃基板產品成為TFT-LCD上游材料占據主導的零配產品。國內彩虹、東旭等自己上馬的TFT-LCD玻璃項目應該得到特別的支持與鼓勵。
由于玻璃基板厚度非常薄，而厚度尺寸管控又非常嚴格，一般在0.01mm的公差，主要準確地測量玻璃厚度、翹曲和平行度。采用ERT光譜共焦傳感器很好的解決這一難題，由于采用共焦原理，一次測量即可完成了高度值、厚度值的采集，加上同時采用多只傳感器測量，不但提升了效率，而且避免接觸式測量造成的二次損傷
